第1章：中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展概述

1.1 集成电路装备与关键材料行业的界定

1.1.1 集成电路装备与关键材料的界定

1.1.2 集成电路装备与关键材料所处产业链环节

1.1.3 集成电路装备与关键材料行业分类

（1）集成电路设备

（2）集成电路材料

1.1.4 集成电路装备与关键材料所属国民经济行业分类

1.2 “专精特新”概念界定

1.2.1 “专精特新”概念解读

1.2.2 “专精特新”相关概念辨析

（1）“专精特新”企业分类

（2）“专精特新”相关概念辨析

1）制造业单项冠军企业

2）隐形冠军企业

3）三类企业异同分析

1.3 “专精特新”发展背景及发展地位分析

1.3.1 “专精特新”发展背景-内因分析

（1）中国中小企业发展现状

1）中小企业数量规模

2）中小企业经营效益

3）中小企业运行情况

（2）中国制造业短板突出，大而不强

（3）服务“国内国际双循环”发展格局

1.3.2 “专精特新”发展背景-外因分析

（1）全球贸易摩擦加剧、外部环境动荡

（2）中国高科技发展遭遇“卡脖子”

1.3.3 “专精特新”发展地位分析

1.4 本报告研究范围界定说明

1.5 本报告数据来源及统计标准说明

第2章：全球及中国集成电路装备与关键材料行业发展现状分析

2.1 全球集成电路装备与关键材料行业发展现状

2.1.1 全球集成电路装备与关键材料行业发展规模

2.1.2 全球集成电路装备与关键材料行业结构

（1）全球集成电路装备行业结构

（2）全球集成电路关键材料行业结构

2.1.3 全球集成电路装备与关键材料行业区域发展格局

（1）全球集成电路产业迁移状况

1）全球集成电路产业迁移情况

2）全球集成电路产业迁移的内在价值

（2）全球集成电路装备与关键材料行业区域发展格局分析

2.1.4 全球集成电路装备与关键材料行业企业竞争格局

（1）全球集成电路装备企业竞争格局

（2）全球集成电路材料企业竞争格局

2.2 中国集成电路装备与关键材料行业发展现状

2.2.1 中国集成电路装备与关键材料行业发展规模

2.2.2 中国集成电路装备与关键材料行业结构

（1）中国集成电路装备行业结构

（2）中国集成电路关键材料行业结构

2.2.3 中国集成电路装备与关键材料行业企业竞争格局

（1）中国集成电路装备企业竞争格局

（2）中国集成电路材料企业竞争格局

2.3 中国集成电路装备与关键材料行业技术水平及国产化现状

2.3.1 中国集成电路装备与关键材料行业技术发展现状

（1）集成电路装备与关键材料行业技术进展

（2）集成电路装备与关键材料行业专利申请情况

1）集成电路装备相关专利申请情况

2）集成电路关键材料相关专利申请情况

（3）集成电路装备与关键材料行业技术研发趋势

1）集成电路装备技术趋势

2）集成电路关键材料技术趋势

2.3.2 中国集成电路装备与关键材料行业国产化发展现状

（1）集成电路装备与关键材料行业国产化率分析

1）集成电路装备

2）集成电路关键材料

（2）集成电路装备与关键材料行业本土企业布局

1）集成电路装备领域本土企业布局

2）集成电路关键材料领域本土企业布局

2.4 中国集成电路装备与关键材料行业发展机遇与挑战分析

第3章：中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”政策环境及投融资环境分析

3.1 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”政策环境分析

3.1.1 国家层面集成电路装备与关键材料行业发展相关政策及规划汇总解读

（1）集成电路装备与关键材料行业发展相关政策汇总及解读

（2）集成电路装备与关键材料行业发展相关规划汇总及解读

（3）集成电路装备与关键材料行业相关规划发展历程

3.1.2 国家层面集成电路装备与关键材料行业“专精特新”相关政策汇总解读

（1）中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展政策解读

（2）集成电路装备与关键材料行业“专精特新”重点政策解读

1）《2009-2023年国家信息化发展战略》

2）《关于印发“十四五”促进中小企业发展规划的通知》

3）《第十三届全国人民代表大会第五次会议关于2021年中央和地方预算执行情况与2022年中央和地方预算的决议》

3.1.3 国家“十四五”规划对集成电路装备与关键材料行业发展的影响分析

3.1.4 “国内国际双循环”战略的提出对集成电路装备与关键材料“专精特新”的影响分析

3.1.5 集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展的政策机遇分析

3.2 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”投融资环境分析

3.2.1 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”领域主要资金来源和融资方式

3.2.2 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”领域投融资主体

3.2.3 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”领域投融资事件汇总

3.2.4 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”领域国家大基金投资情况

（1）国家大基金介绍

（2）国家大基金一期投资分析

1）国家大基金一期投资行业结构

2）国家大基金一期投资企业结构

（3）国家大基金二期投资情况

3.2.5 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”领域投融资机遇分析

（1）集成电路装备与关键材料行业“专精特新”财税扶持力度

（2）集成电路装备与关键材料行业“专精特新”信贷支持政策

（3）集成电路装备与关键材料行业“专精特新”市场化融资渠道

（4）北京交易所成立带来的发展机遇分析

1）打造服务创新型中小企业主阵地

2）促进中小企业与资本市场有机结合

3）首批上市企业“专精特新”特点突出

3.3 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展战略支撑及保障

第4章：中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”企业培育方案及培育现状解读

4.1 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”企业培育方案解读

4.1.1 集成电路装备与关键材料行业国家级“专精特新”企业培育目的

4.1.2 集成电路装备与关键材料行业国家级“专精特新”企业培育对象

4.1.3 集成电路装备与关键材料行业国家级“专精特新”企业培育方向

4.1.4 集成电路装备与关键材料行业国家级“专精特新”企业培育措施

4.1.5 集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业奖励标准

4.2 中国集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报条件及流程解读

4.2.1 集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报-基本条件

4.2.2 集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报-专项条件

4.2.3 集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报-分类条件

4.2.4 集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报流程解读

4.3 中国集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业培育现状分析

4.3.1 全国专精特新“小巨人”企业培育现状

（1）专精特新“小巨人”企业培育进展

1）全国培育数量

2）31省市培育状况

（2）专精特新“小巨人”企业培育特征

（3）专精特新“小巨人”企业行业分布

4.3.2 集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业培育现状

（1）集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业培育进展

1）集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”数量占比

2）集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业经营现状

（2）集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业培育特征

1）集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”上市企业比例情况

2）集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业行业分布情况

第5章：中国集成电路装备与关键材料产业链全景梳理及“专精特新”鼓励布局方向

5.1 中国集成电路装备与关键材料产业结构属性（产业链）分析

5.1.1 中国集成电路装备与关键材料产业链结构梳理

（1）中国集成电路装备产业链结构梳理

（2）中国集成电路关键材料产业链结构梳理

5.1.2 中国集成电路装备与关键材料产业链生态图谱

（1）中国集成电路装备产业链生态图谱

（2）中国集成电路关键材料产业链生态图谱

5.2 中国集成电路装备与关键材料产业价值属性（价值链）分析

5.2.1 中国集成电路装备与关键材料行业成本结构分析

（1）中国集成电路装备成本结构分析

（2）中国集成电路关键材料结构分析

5.2.2 中国集成电路装备与关键材料行业价值链分析

5.3 中国集成电路装备与关键材料行业发展痛点分析

5.4 中国集成电路装备与关键材料产业链“专精特新”鼓励布局方向

第6章：中国集成电路装备与关键材料产业链环节“专精特新”布局状况研究

6.1 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻机“专精特新”布局状况研究

6.1.1 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻机发展现状分析

（1）集成电路光刻机市场发展规模

（2）集成电路光刻机技术发展现状

1）最新技术布局

2）专利情况

（3）集成电路光刻机国产化发展现状

1）国产化率分析

2）本土企业布局

6.1.2 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻机发展痛点分析

6.1.3 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻机“专精特新”市场培育现状

（1）集成电路光刻机“专精特新”企业培育规模

（2）集成电路光刻机“专精特新”市场培育特征

6.1.4 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻机市场竞争格局分析

（1）集成电路光刻机市场企业竞争格局分析

（2）集成电路光刻机市场区域竞争格局分析

6.1.5 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻机发展前景及趋势分析

6.2 中国集成电路装备与关键材料行业之刻蚀设备“专精特新”布局状况研究

6.2.1 中国集成电路装备与关键材料行业之刻蚀设备发展现状分析

（1）集成电路刻蚀设备市场发展规模

（2）集成电路刻蚀设备技术发展现状

1）最新技术布局

2）专利情况

（3）集成电路刻蚀设备国产化发展现状

1）国产化率分析

2）本土企业布局

6.2.2 中国集成电路装备与关键材料行业之刻蚀设备发展痛点分析

6.2.3 中国集成电路装备与关键材料行业之刻蚀设备“专精特新”市场培育现状

（1）集成电路刻蚀设备“专精特新”企业培育规模

（2）集成电路刻蚀设备“专精特新”市场培育特征

（3）集成电路刻蚀设备“专精特新”产品培育情况

6.2.4 中国集成电路装备与关键材料行业之刻蚀设备市场竞争格局分析

（1）集成电路刻蚀设备市场企业竞争格局分析

（2）集成电路刻蚀设备市场区域竞争格局分析

6.2.5 中国集成电路装备与关键材料行业之刻蚀设备发展前景及趋势分析

6.3 中国集成电路装备与关键材料行业之薄膜沉积设备“专精特新”布局状况研究

6.3.1 中国集成电路装备与关键材料行业之薄膜沉积设备发展现状分析

（1）集成电路薄膜沉积设备市场发展规模

（2）集成电路薄膜沉积设备技术发展现状

1）最新技术布局

2）专利情况

（3）集成电路薄膜沉积设备国产化发展现状

1）国产化率分析

2）本土企业布局

6.3.2 中国集成电路装备与关键材料行业之薄膜沉积设备发展痛点分析

6.3.3 中国集成电路装备与关键材料行业之薄膜沉积设备“专精特新”市场培育现状

（1）集成电路薄膜沉积设备“专精特新”企业培育规模

（2）集成电路薄膜沉积设备“专精特新”市场培育特征

6.3.4 中国集成电路装备与关键材料行业之薄膜沉积设备市场竞争格局分析

（1）集成电路薄膜沉积设备市场企业竞争格局分析

（2）集成电路薄膜沉积设备市场区域竞争格局分析

6.3.5 中国集成电路装备与关键材料行业之薄膜沉积设备发展前景及趋势分析

6.4 中国集成电路装备与关键材料行业之硅片“专精特新”布局状况研究

6.4.1 中国集成电路装备与关键材料行业之硅片发展现状分析

（1）集成电路硅片市场发展规模

（2）集成电路硅片技术发展现状

1）最新技术布局

2）专利情况

（3）集成电路硅片国产化发展现状

1）国产化率分析

2）本土企业布局

6.4.2 中国集成电路装备与关键材料行业之硅片发展痛点分析

6.4.3 中国集成电路装备与关键材料行业之硅片“专精特新”市场培育现状

（1）集成电路硅片“专精特新”企业培育规模

（2）集成电路硅片“专精特新”市场培育特征

（3）集成电路硅片“专精特新”产品培育情况

6.4.4 中国集成电路装备与关键材料行业之硅片市场竞争格局分析

（1）集成电路硅片市场企业竞争格局分析

（2）集成电路硅片市场区域竞争格局分析

6.4.5 中国集成电路装备与关键材料行业之硅片发展前景及趋势分析

6.5 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻胶“专精特新”布局状况研究

6.5.1 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻胶发展现状分析

（1）集成电路光刻胶市场发展规模

（2）集成电路光刻胶技术发展现状

1）最新技术布局

2）专利情况

（3）集成电路光刻胶国产化发展现状

1）国产化率分析

2）本土企业布局

6.5.2 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻胶发展痛点分析

6.5.3 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻胶“专精特新”市场培育现状

（1）集成电路光刻胶“专精特新”企业培育规模

（2）集成电路光刻胶“专精特新”市场培育特征

（3）集成电路光刻胶“专精特新”产品培育情况

6.5.4 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻胶市场竞争格局分析

（1）集成电路光刻胶市场企业竞争格局分析

（2）集成电路光刻胶市场区域竞争格局分析

6.5.5 中国集成电路装备与关键材料行业之光刻胶发展前景及趋势分析

第7章：中国集成电路装备与关键材料行业区域发展格局及“专精特新”发展研究

7.1 中国集成电路装备与关键材料产业资源31省市分布状况

7.1.1 中国集成电路装备与关键材料产业研发平台资源分布状况

7.1.2 中国集成电路装备与关键材料产业创新资源分布状况

7.2 中国集成电路装备与关键材料行业企业数量31省市分布

7.2.1 中国集成电路装备企业数量31省市分布

7.2.2 中国集成电路关键材料企业数量31省市分布

7.3 中国集成电路装备与关键材料行业区域发展格局分析

7.3.1 中国集成电路装备与关键材料产业园区发展情况

7.3.2 中国集成电路装备与关键材料产业整体空间布局

7.4 中国31省市集成电路装备与关键材料行业“专精特新”政策环境分析

7.4.1 31省市集成电路装备与关键材料行业发展政策汇总及解读

7.4.2 31省市集成电路装备与关键材料行业“专精特新”政策汇总及解读

（1）31省市“专精特新”重点政策汇总及解读

（2）集成电路装备与关键材料行业31省市“专精特新”发展重点

7.5 中国31省市集成电路装备与关键材料行业“专精特新”企业培育方案及申报条件

7.5.1 集成电路装备与关键材料行业省市级“专精特新”企业培育方案解读

（1）31省市“专精特新”企业认定标准情况

1）31省市“专精特新”企业认定标准汇总

2）31省市“专精特新”企业认定标准重要指标对比

（2）省级“专精特新”企业培育方案解读

1）培育目的

2）培育对象

3）培育内容

4）推进措施

（3）市级“专精特新”企业培育方案解读

1）培育目的

2）培育对象

3）培育内容

4）推进措施

7.5.2 集成电路装备与关键材料行业省市级“专精特新”企业奖励标准

7.5.3 集成电路装备与关键材料行业省市级“专精特新”企业申报条件解读

（1）省级“专精特新”企业申报条件

1）基本条件

2）专项条件

（2）市级“专精特新”企业申报条件

1）基本条件

2）专项条件

7.5.4 集成电路装备与关键材料行业省市级“专精特新”企业申报流程解读

7.6 中国31省市集成电路装备与关键材料行业“专精特新”市场培育现状

7.6.1 31省市集成电路装备与关键材料行业“专精特新”企业培育规模

7.6.2 31省市集成电路装备与关键材料行业“专精特新”市场培育格局

7.6.3 31省市集成电路装备与关键材料行业“专精特新”市场培育特征

（1）行业“专精特新”市场培育政策倾向

（2）行业“专精特新”市场培育细分行业偏向

第8章：中国集成电路装备与关键材料行业代表性“小巨人”企业布局对比及案例研究

8.1 中国集成电路装备与关键材料行业代表性“小巨人”企业布局对比

8.2 中国集成电路装备与关键材料行业代表性“小巨人”企业布局案例研究

8.2.1 天津中环半导体股份有限公司

（1）企业基本信息分析

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

（6）企业集成电路装备与关键材料业务布局优劣势分析

8.2.2 江苏南大光电材料股份有限公司

（1）企业发展历程及基本信息

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

1）企业集成电路关键原材料业务布局介绍

2）企业集成电路关键原材料生产能力分析

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

1）企业产业研发项目

2）企业产业研发投入情况

（6）企业集成电路装备与关键材料业务布局优劣势分析

8.2.3 江阴江化微电子材料股份有限公司

（1）企业发展历程及基本信息

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

1）企业产业研发投入情况

2）企业产业研发技术分析

（6）企业集成电路装备与关键材料布局优劣势分析

8.2.4 福建阿石创新材料股份有限公司

（1）企业发展历程及基本信息

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

（6）企业集成电路装备与关键材料业务布局优劣势分析

8.2.5 安集微电子科技（上海）股份有限公司

（1）企业发展历程及基本信息

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

（6）企业集成电路装备与关键材料业务布局优劣势分析

8.2.6 杭州长川科技股份有限公司

（1）企业发展历程及基本信息

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

（6）企业集成电路装备与关键材料业务布局优劣势分析

8.2.7 上海至纯洁净系统科技股份有限公司

（1）企业发展历程及基本信息

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

（6）企业集成电路装备与关键材料业务布局优劣势分析

8.2.8 沈阳芯源微电子设备股份有限公司

（1）企业发展历程及基本信息

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

（6）企业集成电路装备与关键材料业务布局优劣势分析

8.2.9 多氟多化工股份有限公司

（1）企业发展历程及基本信息

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

（6）企业集成电路装备与关键材料业务布局优劣势分析

8.2.10 浙江晶盛机电股份有限公司

（1）企业发展历程及基本信息

（2）企业发展状况

1）经营状况

2）业务架构

3）销售网络

（3）企业集成电路装备与关键材料业务类型及产品介绍

（4）企业集成电路装备与关键材料产业链布局状况

（5）企业集成电路装备与关键材料业务“专精特新”布局动向

（6）企业集成电路装备与关键材料业务布局优劣势分析

第9章：中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展趋势预判及前景预测

9.1 中国集成电路装备与关键材料行业市场前景预测

9.2 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展趋势预判

9.2.1 中国集成电路装备与关键材料行业发展趋势

9.2.2 中国集成电路装备与关键材料领域“专精特新”发展趋势

（1）整体发展趋势

（2）细分领域发展趋势

9.3 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展前景预测

第10章：中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”投资特性及投资机会分析

10.1 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”投资特性分析

10.1.1 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”投资壁垒分析

10.1.2 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”投资风险预警及防范

（1）周期性风险

（2）政策风险

（3）技术风险

（4）行业竞争风险

10.2 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”投资价值评估

10.3 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”投资机会分析

10.3.1 产业链薄弱环节投资机会

（1）上游零部件环节

（2）下游集成电路环节

10.3.2 区域市场投资机会

10.3.3 细分市场投资机会

第11章：中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”投资策略及发展建议

11.1 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”投资策略

11.2 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展建议

11.2.1 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”企业发展建议

11.2.2 中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”政府发展建议

图表1：集成电路装备与关键材料在集成电路产业链所处环节

图表2：集成电路设备的分类

图表3：集成电路材料分类

图表4：《国民经济行业分类与代码》中集成电路装备与关键材料行业归属

图表5：“专精特新”特征分析

图表6：“专精特新”企业分类

图表7：制造业单项冠军企业申报条件

图表8：隐形冠军标准条件

图表9：“专精特新”相似概念辨析

图表10：2019-2023年中国登记在册企业数量（单位：万户）

图表11：2019-2023年中国规模以上工业中小企业营业收入、利润总额增长率（单位：%）

图表12：中小企业对中国经济发展的贡献（单位：%）

图表13：2019-2023年中国中小企业发展指数（SMEDI）

图表14：2014-2023年中国制造业增加值（单位：万亿元）

图表15：“国内国际双循环”发展格局

图表16：2020-2023年全球经贸摩擦指数月度走势

图表17：中国被“卡脖子”的35项关键技术

图表18：“专精特新”发展历程

图表19：本报告研究范围界定

图表20：本报告数据来源及统计标准说明

图表21：2018-2023年全球半导体设备及关键材料行业市场规模（单位：亿美元）

图表22：2023年全球半导体设备行业市场结构（单位：%）

图表23：2018-2023年全球半导体关键材料行业结构（单位：%）

图表24：全球集成电路产业迁移分析

图表25：全球集成电路产业迁移空间图

图表26：2020-2023年全球半导体设备行业区域发展格局（单位：%）

图表27：2020-2023年全球半导体材料行业区域发展格局（单位：%）

图表28：2023年全球集成电路设备商TOP10（按销售额）（单位：亿美元）

图表29：2023年全球集成电路设备商TOP10/垂直领域设备商TOP7

图表30：全球集成电路材料行业企业竞争格局（按主要领域分）

图表31：2018-2023年中国大陆半导体设备及关键材料行业市场规模（单位：亿美元）

图表32：2018-2023年中国大陆半导体设备及关键原材料市场规模占全球比重情况（单位：%）

图表33：中国集成电路设备细分产品比例情况（单位：%）

图表34：中国集成电路材料细分产品比例情况（单位：%）

图表35：2020-2023年中国半导体设备销售收入TOP10（单位：亿元）

图表36：中国大陆十大半导体材料企业

图表37：半导体行业技术迭代历程

图表38：中国半导体关键材料行业发展历程

图表39：中国集成电路装备及关键材料技术进展

图表40：2014-2023年中国集成电路装备相关专利申请情况（单位：件）

图表41：截至2023年中国集成电路装备相关专利申请TOP10省份（单位：件）

图表42：2014-2023年中国集成电路关键材料相关专利申请情况（单位：件）

图表43：截至2023年中国集成电路关键材料相关专利申请TOP10地区（单位：件）

图表44：中国集成电路装备行业技术发展趋势

图表45：国内半导体晶圆制造材料产业发展趋势

图表46：国内半导体封装材料产品发展趋势

图表47：2019-2023年中国主要半导体设备制造商销售收入占国内半导体设备市场比重（单位：亿元，%）

图表48：中国主要集成电路设备国产化率（单位：%）

图表49：中国主要集成电路关键材料国产化率（单位：%）

图表50：中国集成电路设备行业代表性企业布局

图表51：中国集成电路关键材料行业本土企业布局情况

图表52：中国集成电路装备与关键材料行业发展机遇与挑战分析

图表53：2015-2023年中国集成电路装备及关键原材料行业重点发展政策汇总及解读

图表54：截至2023年中国集成电路装备与关键材料行业相关发展规划汇总-国家层面

图表55：中国集成电路装备与关键材料行业相关规划发展历程

图表56：截至2023年中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展重点政策汇总-国家层面

图表57：《2009-2023年国家信息化发展战略》政策解读

图表58：《2009-2023年国家信息化发展战略》中集成电路装备与关键材料行业“专精特新”的相关内容

图表59：《关于印发“十四五”促进中小企业发展规划的通知》政策在“专精特新”方面的解读

图表60：《第十三届全国人民代表大会第五次会议关于2021年中央和地方预算执行情况与2022年中央和地方预算的决议》政策在集成电路装备与关键材料行业“专精特新”方面的解读

图表61：中国“十四五”规划对于集成电路装备与关键材料 “专精特新”发展的影响

图表62：“国内国际双循环”发展格局

图表63：集成电路装备与关键材料 “专精特新”发展的政策机遇

图表64：中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”领域融资方式（单位：%）

图表65：中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”领域投融资主体

图表66：中国集成电路装备与关键材料行业“专精特新”领域代表性企业投融资事件汇总（单位：万元，亿元）

图表67：国家大基金一期投资情况（分行业）（单位：亿元，%）

图表68：国家大基金一期投资情况（分企业性质）（单位：%）

图表69：《为“专精特新”中小企业办实事清单》中财税力度的加强

图表70：《为“专精特新”中小企业办实事清单》中信贷支持力度的加强

图表71：《为“专精特新”中小企业办实事清单》中市场化融资渠道的打通

图表72：北交所与上交所、深交所的定位差异

图表73：新三板企业在北京交易所的上市路径

图表74：截至2023年北交所上市的“专精特新”企业行业分布情况（单位：%）

图表75：集成电路装备与关键材料行业“专精特新”发展战略支撑及保障

图表76：集成电路装备与关键材料行业国家级“专精特新”企业培育对象

图表77：集成电路装备与关键材料行业国家级“专精特新”企业培育方向

图表78：集成电路装备与关键材料行业国家级“专精特新”企业培育措施

图表79：集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报-基本条件

图表80：集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报-基本条件

图表81：集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报-专项条件

图表82：集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报-分类条件

图表83：集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业申报流程

图表84：第一批至第三批专精特新“小巨人”企业数量情况（单位：家）

图表85：截至第三批公示名单专精特新“小巨人”企业分布情况（单位：家）

图表86：截至第三批公示名单专精特新“小巨人”企业三大区域分布情况（单位：家）

图表87：第三批专精特新“小巨人”企业呈现出“6789”的特点

图表88：截至第三批公示名单专精特新“小巨人”企业行业分布情况（单位：家，%）

图表89：截至第三批公示名单专精特新“小巨人”上市企业行业分布情况（单位：家，%）

图表90：截至第三批中国集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”行业企业比例（单位：%）

图表91：2019-2023年中国集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”行业上市企业营收增速（单位：%）

图表92：截至第三批中国集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”行业上市企业营占比情况（单位：%）

图表93：截至第三批中国集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”企业行业分布情况（单位：%）

图表94：2019-2023年中国集成电路装备与关键材料行业专精特新“小巨人”上市企业行业集中度情况（按营业收入）（单位：%）

图表95：中国集成电路装备产业链结构

图表96：中国集成电路关键材料产业链结构

图表97：中国集成电路装备产业链生态图谱

图表98：中国集成电路关键材料产业链结构

图表99：2023年中国集成电路装备代表性企业成本结构分析（单位：%）

图表100：2023年中国集成电路装备成本结构分析（单位：%）

图表101：2023年中国集成电路关键材料代表性企业成本结构分析（单位：%）

图表102：2023年中国集成电路关键材料成本结构分析（单位：%）

图表103：中国集成电路装备与关键材料行业价值链分析

图表104：中国集成电路设备及关键原材料行业发展痛点分析

图表105：2024-2029年中国集成电路装备与关键材料技术路线

图表106：中国集成电路装备与关键材料产业链“专精特新”鼓励布局方向

图表107：2019-2023年中国集成电路光刻机市场规模（单位：亿美元）

图表108：2011-2023年中国集成电路光刻机行业专利申请量及授权量情况（单位：项，%）

图表109：截至2023年中国集成电路光刻机热门技术构成（单位：项，%）

图表110：截至2023年全球集成电路光刻机技术地区占比情况（单位：%）

图表111：2023年中国集成电路光刻机国产化率（单位：%）

图表112：中国集成电路装备与关键材料行业光刻机本土企业布局情况

图表113：中国集成电路装备与关键材料行业之光刻机发展痛点分析

图表114：中国集成电路光刻机“专精特新”企业名单

图表115：中国集成电路光刻机“专精特新”企业市场培育特征

图表116：中国集成电路光刻机企业竞争格局

图表117：中国集成电路光刻机区域竞争格局（单位：家）

图表118：2024-2029年中国集成电路光刻机市场规模预测（单位：亿美元）

图表119：2019-2023年中国集成电路刻蚀设备市场规模（单位：亿美元）

图表120：2011-2023年中国集成电路刻蚀设备行业专利申请量及授权量情况（单位：项，%）

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